Wasser für die Elektronikindustrie und Photovoltaikunternehmen

Wasseraufbereitung und Abwasserbehandlung für Mikroelektronik-Anwendungen.

Eine konstante Versorgung mit hochwertigem Wasser in der benötigten Menge ist für Photovoltaikunternehmen und die Elektronikindustrie von entscheidender Bedeutung.

Finden Sie heraus, wie wir Ihnen helfen können:

 

Innovation and Regulierung: Herausforderungen im Bereich Wasser für die Elektronik- und Photovoltaikindustrie

Constant innovation - Chemical industry

Modernste und innovative Technologien zur Herstellung von Reinstwasser.

Water recovery picto

Aufbereitung von Abwasser, Rückgewinnung von Produkten und Wasser-Recycling.

Electronics and photovoltaics icon

Bessere Ressourcenverwaltung und Wassereinsparung.

Wie Veolia Elektronik- und Photovoltaikunternehmen mit Wasser unterstützt

Der Halbleiter-Herstellungsprozess beispielsweise umfasst mehrere fotografische und chemische Verarbeitungsschritte, bei denen nach und nach elektronische Schaltungen auf Wafern aus reinem Halbleitermaterial entstehen. Die vorgelagerte Silizium-Wafer-Fertigung, von der Ingot-Herstellung bis zum Schneiden und Polieren der Wafer, ist entscheidend für die Qualität der Endprodukte und erfordert große Mengen an hochreinem Wasser.

 

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Für die Herstellung eines integrierten Schaltkreises (IC) auf einem 300-mm-Wafer werden insgesamt etwa 8.328 Liter Wasser benötigt, davon 5.678 Liter Reinstwasser. 

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Die Halbleiter-Industrie gibt jedes Jahr etwa 2 Milliarden Dollar für Wasser- und Abwasseraufbereitungssysteme aus.

Quelle: Global Water Intelligence (2009) Pure Water, Semiconductors and The Recession

 

Teilmärkte der Elektronik und Mikroelektronik wie TFT-LCD, Festplatten, Photovoltaik und bedruckte Platinen (PCB) erfordern moderne und präzise Wasseraufbereitungssysteme und Abwasserlösungen, da Wasser die Hauptquelle für Verunreinigungen darstellt. 


Ein weiteres Beispiel sind Photovoltaikmodule. Die Herstellung eines Photovoltaikmoduls durchläuft mehrere kritische Schritte, darunter die anfängliche Veredelung des Siliziums, die Kristallisierung und die Formgebung der Platten. In diesen Vorphasen werden große Mengen an Wasser benötigt. Zusätzlich spielt die Ressource auch in den nachfolgenden Phasen eine entscheidende Rolle, d. h. bei der Herstellung der Zellen und der Endmontage der Module.

Anpassbare Lösungen rund um Wasser für die Elektronik- und Photovoltaikindustrie

Wasserkreislauf in der Mikroelektronik-Herstellung

 

Veolia Water Technologies verfügt dank jahrelanger Erfahrung über die Fähigkeit, den gesamten Wasserkreislauf in einer Anlage zu gestalten, von Reinstwasser bis zum Abwasser, von Prozesswasser bis zu Wasser-Recycling.

Unsere fortschrittlichen Technologien sind darauf ausgelegt, die großen Herausforderungen bei der Halbleiter-Fertigung zu meistern.

Aufbereitung von Reinstwasser

Jedes einzelne Bauteil in der Fertigung muss frei von jeglichen Verunreinigungen sein. Aus diesem Grund wird in vielen Phasen des Herstellungsprozesses Wasser von höchster Reinheit - Reinstwasser - verwendet.

 

Reinstwasseraufbereitungs-Prozess in der Elektronikindustrie

Abwasserbehandlung

In den Abwasserströmen der Mikroelektronik-Industrie sind in der Regel Kupferätzchemikalien, Rückstände vom Trennschleifen und Rückenseitenschliff sowie TMAH/Ammoniak konzentriert und müssen entfernt werden.

Wasser-Recycling

Spül-, Rückschliff- und Trennschleifabwässer können recycelt und wiederverwendet werden, um die Produktion kosteneffizienter und nachhaltiger zu gestalten. 

Verbesserte Ausbeute

Eine gleichbleibende Reinstwasser-Qualität führt zu einer geringeren Ausschussquote und damit zu einer besseren Ausbeute für unsere Kunden.

Darüber hinaus unterstützen wir die Herstellung von Halbleitern, die Wafer-Fertigung sowie die Photovoltaik-Produktion mit unserer jahrzehntelangen Erfahrung, kurzen Reaktionszeiten und Experten-Service sowie eine 24/7-Notfallbereitschaft für den Einsatz von mobilen Wasseraufbereitungsanlagen im Bedarfsfall. 

Kunden aus der Elektronik- und Photovoltaikindustrie, die Veolia vertrauen

Femme observant les stations de traitement de l'eau ultra-pure et des eaux usées de la fabrique de plaquettes de Soitec.

Komplette Wasseraufbereitung für die Soitec Wafer-Fabrik

SINGAPUR
Veolia Water Technologies konzipierte und baute die Reinstwasser- und Abwasseraufbereitungs-Anlagen für die Soitec Wafer-Fabrik in Pasir Ris, Singapur.

Durch die Kombination von zwei hochwertigen Wasserqualitäten ist unsere Lösungen kosteneffizient. Der Einsatz einer chemikalienfreien Technologie zur kontinuierlichen Elektrodeionisierung sichert die konstante Reinstwasser-Versorgung. 

 

Entdecken Sie unsere Technologien zur Wasseraufbereitung für Elektronik und Photovoltaik

Biofilmreaktor
Bewegtbett-Biofilmreaktor zur kosteneffizienten Entfernung von Schadstoffen aus kommunalen und industriellen Abwässern. Hohe Effizienz bei BSB, Ammoniak und Stickstoff.
Verdampfung
Abwasserverdampfer zur Verringerung der Abwassermenge und damit der Entsorgungskosten. Ermöglichen Wasser-Recycling, ZLD und die Rückgewinnung von Nebenprodukten.
Filtration
Mechanische, selbstreinigende Scheibenfilter. Kompakt und aus hochwertigen Materialien mit einem patentierten Verfahren zur Filtration von Schwebstoffen.

 

Eine zuverlässige Versorgung mit Reinstwasser von höchster Qualität ist für die Mikroelektronikindustrie absolut entscheidend, um den Produktionsertrag zu verbessern. Neben den Produktionszielen haben sich die Akteure dieser Branche auch hohe Ziele in Bezug auf die nachhaltige Entwicklung und den ökologischen Fußabdruck gesetzt. Kompakte und effiziente Lösungen für die Abwasseraufbereitung, gepaart mit nachhaltigen, zukunftsweisenden Lösungen für die Wasserrückgewinnung können helfen, diese Ziele zu erreichen.

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Mehbub KHAN

Market Manager, Power & Microelectronics, Singapur

Veolia Water Technologies

Kontaktieren Sie Mehbub Khan über sein LinkedIn Profil

 

Weitere Services für die Elektronikindustrie

Unser Team bietet die Regeneration und den Austausch von Ionenaustauscher-Harzen an, damit Sie sich auf Ihr Kerngeschäft konzentrieren können.
Eine Kombination aus digitalen Tools und Veolia-Know-how, die alle Ihre Wasserprozesse intelligenter, sicherer und nachhaltiger macht.
Bündelt leistungsstarke Wasserchemikalien sowie innovative Dosier-, Mess- und Regeltechnik mit kompetenter Unterstützung durch unsere Chemikalien-Experten.
Wir bieten zahlreiche Dienstleistungen für installierte Anlagen: technische Unterstützung, Ersatzteile, Verbrauchsmaterialien, vorbeugende Wartung und vieles mehr.
Mobile Wasseraufbereitung zur Unterstützung Ihrer Produktion bei zeitlich begrenzten Wasseraufbereitungs-Bedarfen. Im Notfall auch rund um die Uhr verfügbar.

Ressourcen 

Wenn Sie mehr über nachhaltiges Wassermanagement in der Mikroelektronikindustrie erfahren möchten, laden Sie unsere Broschüre herunter (verfügbar in Englisch): 

 

PDF
Sustainable Water Management for the Microelectronics Industry Brochure (2.96 MB)

 

FAQ zu Wasser für die Photovoltaik- und Elektronikherstellung

Was ist Environmental Social Governance (ESG) und warum ist es für die Halbleiterindustrie wichtig, sich mit Nachhaltigkeit zu befassen?

Ökologisch-soziale Unternehmensführung (ESG) kann definiert werden als Unternehmensführung, die ihre Auswirkungen auf soziale Angelegenheiten und Nachhaltigkeit berücksichtigt. Gute ESG-Praktiken können Unternehmen widerstandsfähiger machen, indem sie sich auf dringende Probleme wie Wasserknappheit vorbereiten. Unternehmen führen ESG-Praktiken auch zur Sicherung ihrer Finanzierung ein, weil Banken sie zunehmend als Investitionskriterium für die Steuerung von Risiken einsetzen.

Was sind die wichtigsten Schritte bei der Aufbereitung von Reinstwasser?

Die Reinstwasseraufbereitung erfordert in der Regel Multimediafilter (MMF) und Aktivkohlefilter (ACF), Umkehrosmose (RO), Entgaser, Ionenaustausch und UV-Behandlung.

Was sind die typischen Merkmale von hochwertigem Reinstwasser?

Die in der in der Elektronik- und Halbleiterindustrie verwendeten Norm ASTM D5127 und die SEMI F63 Reinstwasser-Richtlinie empfehlen die folgenden Grenzwerte: 

Reinstwasser-Grenzwerte für die Elektronikindustrie

Wie kann die Ausbeute in der Wafer-Fertigung verbessert werden?

in der Wafer-Fertigung ist die Ausbeute der kritischste Parameter. Jede neue Technologiegeneration erfordert eine höhere Reinstwasserqualität und bessere Überwachungssysteme, da "Killerpartikeln" oder Mikroverunreinigungen im Reinstwasser zu physischen Schäden an mikroelektronischen Bauteilen und letztlich zu kostspieligen Gerätedefekten und Ausschuss in der Produktion führen kann. Eine Überwachung und Kontrolle kritischer Parameter in Echtzeit würde sowohl Reinstwasser-Ingenieuren als auch Prozess-Ingenieuren helfen, den Zusammenhang zwischen Verunreinigungen und Wafer-Defekten besser zu verstehen. Damit  könnten Hersteller, insbesondere von FinFet-Bauelementen und Bauelementen auf Nanodrahtbasis, die Produktqualität nicht mehr nur verwalten, sondern kontrollieren.

Wie werden PCB-Abwässer aus der Herstellung bedruckter Platinen behandelt?

Lösliches CU-Abwasser wird in der Regel mit Elektrolyse behandelt, während chelatbildende CU-Abwasserströme üblicherweise durch Klärung (z. B. mit Actiflo®) und Ionenaustausch gereinigt werden. Für organische Abwässer können Verfahrenstechniker den Einsatz eines Membranbioreaktors (MBR) in Betracht ziehen.

Wie lassen sich TMAH und Ammoniak aus Abwasserströmen entfernen?

TMAH und Ammoniak können mit einer Kombination der folgenden Technologien wirksam entfernt werden:

Wie kann man Wasser ohne Umkehrosmose (RO)-Membranen recyceln?

Die in Wasserrückgewinnungs-Prozessen eingesetzten Umkehrosmose (RO)-Membranen können energieintensiv sein. Dies kann neben hohen Investitionskosten auch zu einem höheren Aufwand und Betriebskosten bei der Wartung solcher Umkehrosmose- und Ultrafiltrationsmembranen führen. Wasser-Recycling durch membranlose Verfahren ist in der Regel weniger kostspielig und kann die Nachhaltigkeits- und Kosteneffizienzziele eines Unternehmens erfüllen. Die membranlosen Lösungen von Veolia - wie der kompakte Actiflo®-Klärer, der Hydrotech™-Scheibenfilter und Ionenaustauscher - bieten eine Rückgewinnung von bis zu 95 %, verbrauchen extrem wenig Energie und benötigen nur wenige Chemikalien. Dadurch können Unternehmen Energie und Chemikalien einsparen, den Bedarf an Cleaning-in-Place- oder chemiegestützten Rückspülungen reduzieren und gleichzeitig ihre ESG-Ziele erreichen.